石英管式微波等離子體裝置說明書
目 錄
一、 設備簡介及使用范圍
二、 技術參數及特性
三、 設備安裝
四、 操作及注意事項
五、 設備維護
六、 常見故障及維護辦法
簡介及使用范圍
1. 設備簡介
該設備利用頻率為2.45GHz的微波激勵稀薄氣體放電，從而產生等離子體。真空反應室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺可以方便地在反應腔體內上下升降調節。
基片臺位于石英管反應腔體的中心，該基片臺除了基本的上下升降功能外，同時具有水冷控溫的功能，雙層水冷支架與基片臺可方便地拆卸與維護，即使樣品以不同的形態（片狀、塊狀、粉末狀等）出現，更換或改裝基片臺也十分方便。
石英管反應腔兩端有雙層水冷套作降溫保護，端口以不銹鋼部件固定并密封（加橡膠）石英腔體，以確保反應腔的**穩定工作。
該設備的真空系統采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6×10－1帕，抽速2升/秒，額定轉速1400轉/分，機械泵與真空室之間設置有電磁閥和高真空隔膜閥，旁路管道設置另一隔斷閥（高真空微調閥），以便于真空系統運行**及工作時反應氣體壓強的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封，通常：相對不動接口采用金屬銅密封，相對可動接口采用橡膠密封。
真空測量采用數字壓阻式真空計，用來測量反應腔內的工作氣壓。
主要電氣配置：
1) 真空泵：2XZ-2型旋片真空泵采用單相220V交流電源，對實驗室電源無特殊要求。
2) 磁控管：采用工業上通用的磁控管，該磁控管具有使用壽命長、可靠性高的特點，維護方便。
3) 真空計：采用壓阻式真空計，用于測量工作時的工作氣壓。
4) 溫控儀：用于冷卻水循環系統中的制冷及水溫控制。
5) 500W微波功率源：通過調節磁控管陽極電壓的方法調節微波功率的輸出，利用簡單、可靠、易維護的電路實現微波功率的連續可調輸出。
6) 冷卻水：裝置自帶循環冷卻水，對實驗室無水源要求，既節水又方便。
二、技術參數及特性
1. 反應室工作壓強：幾百帕～十千帕
2. 反應室極限壓強: 6×10－1帕
3. 反應室尺寸： Φ50mm
4. 微波功率： 0～500W
5. 基片溫控： 200～1000℃
三、設備安裝
1. 安裝環境要求
1) 供電： AC220V，50Hz,大功率2000W
2) 溫度、濕度、氣源及冷卻水：應保障設備工作穩定正常
3) 安裝室：室內整潔，空氣流通，無塵埃。
4) 接地線：室內具有獨立接地線＜3Ω
2. 安裝程序
1） 確認安裝環境
2） 檢查設備良好情況（運輸過程中是否造成損壞）
3） 安裝真空泵、抽氣管道、隔斷閥及其它配件
4） 連接電氣柜至主機各電纜線
5） 確認各電氣部件完好無損
6） 升降雙層水冷支架，確認石英管、基片臺及其它部件完好無損
7） 連接并啟動確認循環控制冷卻水完好
8） 連接好設備地線。
四、操作及注意事項
1. 檢查確認設備各部件完好，連接**（注意接地）。
2. 接通總電源，打開總電源開關按鈕，確認冷卻水箱水容量及MTC-2000水冷控制系統（詳細請參照MTC-2000操作說明書）已設定完成后，打開冷卻水開關按鈕。
3. 打開隔膜閥，確認氣路連接規范完好后打開機械泵開關按鈕，抽真空約5分鐘使本底真空達到所需要求。
4. 開啟流量計開關，給真空室輸送工作氣源。
5. 開啟高壓開關按鈕，將陽極電流加載至約15mA，關閉隔膜閥，調節微調閥使工作氣壓達到所需要求。
6. 調節短路活塞及工作平臺高度使裝置穩定工作。
7. 試驗結束時，將陽極電流調至0，關閉高壓開關按鈕，關閉氣路，關閉機械泵，關閉冷卻水，關閉總電源。
五、設備維護
1. 注意保持環境整潔衛生。
2. 冷卻水經常更換以保證循環水系統正常工作。
3. 及時清潔真空反應室。
4. 所有電氣旋鈕及開關狀態在使用前一定要確認是否在“原始”狀態。
5. 真空系統維護：
1) 注意真空泵換油
2) 注意反應室及管道清潔
3) 注意密封面清潔
4) 真空系統停機前一定要先關真空計電源，然后再進行其它 操作。
六 常見故障及維護辦法
1）在加上微波功率后，放電沒有發生，無等離子體。
可能的原因：反應腔內的氣壓太高，等離子體難于激發產生。也可能是反射板位置不匹配。
解決辦法：完全打開隔膜閥，或調節反射板的位置。
2）在正常工作氣壓下，等離子體球不在基片臺的上方，而是靠著石英管壁。
可能原因：反射板位置不合適，需進行調節。